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碳化硅基半導(dǎo)體制程系列

SiC單晶生產(chǎn)TaC涂層坩堝

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Solid SiC 盤、環(huán)

Solid SiC 載片器

4寸多片石墨盤（CVD SiC涂層）

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PECVD舟架（CVD SiC涂層）

SiC芯片外延成套石墨零部件（CVD SiC涂層）CVD SiC涂層石墨發(fā)熱體

SiC陶瓷刻蝕盤（CVD SiC涂層）

硅基半導(dǎo)體制程系列

2~4寸多片石墨盤

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CVD SiC涂層石墨片（C/C片）

航天航空抗燒蝕涂層材料

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LED、Micro/Mini LED制程系列

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